В Зеленограде готовят площадку для установки металлизации чипов

ГК «Элемент» начала подготовку площадки в Зеленограде для первой российской промышленной установки алюминиевой металлизации чипов методом вакуумного напыления. Для нее строят специализированную чистую комнату и инженерную инфраструктуру уровня, который обычно требуется фабрикам микроэлектроники, а не обычным лабораториям. Параллельно Минпромторг финансирует разработку самой

установки, которая должна заменить системы Applied Materials и Evatec на линиях 180-90 нм. Проектирование инфраструктуры выполняет компания «Системные решения», выигравшая конкурс НИИ молекулярной электроники. Цена контракта составила 21 млн рублей. Испытательный центр разместят на площади около 350 кв. м в Зеленограде, а на разработку самой установки в федеральном бюджете на 2026 год

предусмотрено около 2 млрд рублей. Речь идет о восьмимодульной системе вакуумного напыления с двумя роботизированными манипуляторами для работы с 200-мм кремниевыми пластинами. Оборудование должно наносить слои алюминия, титана и нитрида титана. Эти материалы используют при формировании межсоединений и защитных покрытий на микросхемах. Завершить разработку планируется к концу сентября 2030 года. Для такой установки обычного помещения

недостаточно. В проект заложены отдельные зоны для нанесения металлизации, измерительного блока и инженерных систем. Основная производственная зона должна соответствовать классу чистоты ISO 6, а вспомогательные помещения — ISO 8. Также понадобятся резервное электропитание, подача сверхчистых газов, охлаждение, контроль электромагнитных помех и непрерывный мониторинг параметров среды.

фильтрация воздуха до частиц 0,3 микрона температура около +22 ±2 °C влажность порядка 50% вибрации не выше 6 мкм/с Зависимость от зарубежных установок Для российского рынка это не рядовой проект по локализации. Установки осаждения и металлизации десятилетиями поставляли несколько зарубежных

групп, в первую очередь Applied Materials, Lam Research, Tokyo Electron и Evatec. После ограничений на поставки такого оборудования именно этот сегмент стал одним из самых болезненных для фабрик зрелых техпроцессов: заменить можно не только сам инструмент, но и всю связанную с ним инженерную обвязку,

квалификацию процессов и сервис. Техпроцессы 180-90 нм выглядят скромно на фоне передовых норм, хотя для промышленной электроники, силовых компонентов, телеком-оборудования, смарт-карт и части автомобильной электроники это рабочий диапазон. Такие линии обычно строятся вокруг 200-мм

пластин, и спрос на них в мире сохраняется. SEMI ранее прогнозировала дальнейший рост мощностей 200-мм фабрик в мире до второй половины десятилетия, несмотря на общий фокус отрасли на более тонких нормах. Проблема в том, что даже при локальной разработке установки зависимость не исчезает автоматически. Эксперты отрасли признают, что часть компонентов для чистых помещений, газовых систем, вакуумной

арматуры, измерения вибраций и климатического контроля российские проекты все еще закупают за рубежом, чаще всего через Китай. Это делает сроки чувствительными не только к финансированию, но и к доступности комплектующих и сервисных цепочек. Для «Элемента» и НИИМЭ проект важен еще и как проверка способности собирать не отдельный модуль, а

связанный производственный контур. В российской микроэлектронике уже были примеры, когда разработка оборудования упиралась не в механику или вакуумную камеру, а в стабильность технологических режимов, программное управление и повторяемость результата на пластине. В металлизации именно повторяемость определяет, можно ли переводить установку из статуса опытной в промышленную.

Мировой рынок оборудования для выпуска полупроводников измеряется десятками миллиардов долларов в год, и в нем доминируют американские, японские и европейские поставщики. На этом фоне российский проект выглядит точечным, зато его ниша понятна: зрелые техпроцессы, локальные фабрики и снижение зависимости от единичных импортных систем. Если разработку доведут до серийной эксплуатации к 2030 году, следующим узким местом станут уже не помещения, а

масштабирование сервисной поддержки и поставок расходных материалов для нескольких линий сразу.

В Зеленограде готовят площадку для установки металлизации чипов

Сообщает itzine.ru

Новость из рубрики: Технологии и Hi-Tech

Поделиться новостью: Поделиться новостью в Facebook Поделиться новостью в Twittere Поделиться новостью в VK Поделиться новостью в Pinterest Поделиться новостью в Reddit

Топ Новости Недели

09:17, 22 Фев В Зеленограде построят жилой дом по программе реновации на 617 квартир В Зеленоградском административном округе построят многоквартирный дом по программе реновации. Работы будут вестись на Заводской улице (зем. уч. 2). К...

16:17, 16 Июн Турция готова предоставить площадку для диалога по Украине Турция выразила готовность сделать все возможное в лице посредника в конфликте на Украине и предложить площадку для диалога. Об этом сообщил глава МИ...

07:17, 30 Май Blue Origin и New Glenn: глава NASA посетил площадку после взрыва Администратор NASA Джаред Айзекман прибыл на мыс Канаверал после взрыва на площадке LC-36, где Blue Origin готовила к запуску ракету New Glenn. Он ос...

13:17, 05 Май SpaceX заливает новейшую стартовую площадку водой: до запуска Starship следующего поколения остались считанные дни Запуск ожидается уже через неделюНа космодроме Starbase состоялся новый тест системы водяного охлаждения, установленной на стартовой площадке Pad 2.С...

01:17, 05 Фев Сэкономить не получится: названы недостатки установки ГБО О неочевидных минусах ГБО рассказал заместитель генерального директора по VIP-направлению ГК «Автодом» Роман Тимашов. Комментарий эксперта Роман Тима...

00:17, 10 Фев Минус на плюс. Как поменять свои установки Термин «психосоматика» состоит из двух слов: «душа» и «тело». Болит душа – и это отражается в теле. Каждая негативная эмоция ослабляет нас физически....

12:17, 22 Май Мошенники обманывают россиян под предлогом установки кондиционеров Они собирают конфиденциальную информацию и данные из документов пользователейМошенники используют разные схемы, связанные с установкой кондиционеров,...

05:17, 22 Фев Не получается выйти из Apple ID в App Store после установки iOS 26.4. Что делать? На этой неделе вышло очередное крупное обновление для iOS 26. Это уже четвертый такой апдейт, который приносит не только оптимизацию производительнос...

06:17, 03 Июн macOS 26.5.1 доступна для установки: что нового и какие Mac можно обновить Apple неожиданно выкатила небольшое, но любопытное обновление — macOS 26.5.1 уже доступна для загрузки. По описанию это типичный точечный апдейт с од...

18:17, 03 Июн Названы проблемы с машиной из-за неправильной регулировки углов установки колес Директор по послепродажному обслуживанию ГК «Автодом» Сергей Плетнев обратил внимание водителей на серьезные риски, связанные с некорректной регулиро...

02:17, 04 Фев Система «ЭРА-ГЛОНАСС» для автомобилей: преимущества, особенности и важность профессиональной установки Автомобильная промышленность активно развивается. Вместе с ней появляются новые технологии, повышающие уровень безопасности на дорогах. Одной из ключ...

00:17, 27 Апр Как держит заряд батарея после установки iOS 26.4.2. Узнай, повезло твоему Айфону или нет Как новая iOS 26.4.2 влияет на время работы iPhone? Apple неожиданно выпустила iOS 26.4.2 — всего через две недели после релиза iOS 26.4.1. Релиз жда...

12:17, 26 Мар Характеристики чипов Snapdragon 8 Elite Gen 6 и Gen 6 Pro По мере того как Qualcomm ускоряет подготовку к выпуску флагманского семейства процессоров следующего поколения, начинают появляться технические подр...

20:17, 22 Июн Модель ИИ GLM-5.2 от Z.ai вышла в лидеры без чипов Nvidia Китайская Z.ai выпустила открытую модель ИИ GLM-5.2 и сразу вывела её в верхние строчки отраслевых рейтингов. Компания утверждает, что всё семейство ...

01:17, 07 Апр В Калуге готовят к выпуску новый кроссовер На калужском автозаводе «АГР» вскоре начнут собирать новую модель. Как сообщил губернатор региона Владислав Шапша в интервью ТАСС, речь идёт о кроссо...

00:17, 14 Май Windows будет меньше глючить: Microsoft нашла способ быстро чинить Windows после установки проблемных драйверов Откат драйверов к стабильной версии будет осуществляться автоматическиMicrosoft анонсировала новую функцию для Windows — Cloud-Initiated Driver Recov...

20:17, 24 Апр В ДНР готовят программу развития автотуризма по всему региону В ДНР ведётся разработка комплексной программы развития автомобильного туризма, которая охватит всю территорию региона. Об этом в беседе с Донецким а...

06:17, 12 Июн Тайный план: ЕС и Зеленский готовят глобальный обман на G7 На саммите G7 лидеры стран-участниц попытаются убедить президента США Дональда Трампа принять европейский план по урегулированию конфликта на Украине...

08:17, 03 Май TSMC ускоряет выпуск 2-нм чипов на фоне взрывного спроса на ИИ Крупнейший производитель полупроводников TSMC активно наращивает производство чипов по 2-нм техпроцессу, стремясь удовлетворить стремительно растущий...

09:17, 16 Май Android-смартфоны станут дороже iPhone из-за новых чипов Флагманские смартфоны на операционной системе Android в ближайшие месяцы рискуют сравняться по цене с iPhone, а в отдельных случаях — и превзойти их....

10:17, 26 Мар Nvidia заявляет о возобновлении производства чипов, предназначенных для Китая Глава Nvidia Дженсен Хуанг заявил, что компания, занимающаяся разработкой технологий искусственного интеллекта, возобновляет производство своих высок...

03:17, 13 Фев Samsung начала поставки новейших чипов памяти HBM4 Компания Samsung Electronics приступила к поставкам высокоскоростных микросхем памяти стандарта HBM4 неназванным заказчикам. Об этом сообщает Reuters...

11:17, 25 Май Huawei заявила о цели выйти на плотность чипов класса 1,4 нм Huawei на форуме IEEE ISCAS 2026 в Шанхае заявила, что в течение пяти лет рассчитывает довести свои высокопроизводительные чипы до плотности транзист...

14:17, 18 Июн Тим Кук предупредил о росте цен на устройства Apple из-за дефицита чипов памяти Тим Кук (Tim Cook) сообщил изданию The Wall Street Journal, что в ближайшее время цены на продукцию Apple неизбежно вырастут. По его словам, в Apple ...

09:17, 02 Фев Apple может изменить 12-летнюю стратегию производства чипов Компания TSMC была эксклюзивным поставщиком чипов для устройств Apple с 2014 года, однако эта 12-летняя монополия может подойти к концу. Согласно инф...

00:17, 07 Май Охота на миллизаряды: физики из США готовят революцию в поиске частиц Мир большой физики застрял в ожидании. Пока гигантские ускорители частиц в США и Европе пожирают миллиарды долларов и десятилетия времени, ученые из ...

11:17, 23 Май СКФУ и вьетнамский технический университет готовят совместные программы по ИИ Северо-Кавказский федеральный университет (СКФУ) договаривается о запуске совместных образовательных программ с государственным техническим университ...

08:17, 22 Фев ГАЗелям готовят апгрейд — под обновление попадут тысячи машин Обновление, анонсированное дистрибьютором нижегородской техники, коснется бортового оборудования коммерческих машин. Сообщается, что более 16 тысяч т...

07:17, 05 Фев Знаковое здание в центре Курска готовят к масштабной реставрации В Курске началась подготовка к комплексной реставрации одного из самых узнаваемых архитектурных объектов города — здания отделения Банка России на ул...

01:17, 03 Июн Летний детский отдых: депутаты готовят налоговые льготы Жара, детский гвалт и запах сосновой хвои — это классика летних каникул. Но для родительского кошелька поездка ребенка в лагерь часто превращается в ...

18:17, 03 Июн В России готовят серьезную реформу техосмотра: что ждет автомобилистов? По данным Pravda.Ru, власти решили кардинально изменить подход к техническому осмотру автомобилей – вместо формальной покупки документов водителей жд...

10:17, 30 Апр Ученые СПбГУ создали новый тип логических элементов для нейроморфных чипов В пресс-службе Санкт-Петербургского государственного университета сообщили, что ученые вуза предложили свежий подход к созданию логических элементов ...

09:17, 07 Июн Запущен первый промышленный сканер для выпуска чипов по технологии 28 нанометров В подмосковном Зеленограде 6 июня 2026 года состоялась торжественная церемония запуска первого полностью отечественного литографического сканера, пре...

14:17, 27 Янв Samsung начнёт массовое производство чипов HBM4 для Nvidia в феврале Samsung готова запустить массовое производство чипов памяти HBM4 в феврале 2026 года после прохождения финальной стадии квалификации Nvidia — новые ч...

06:17, 02 Май Intel и AMD готовят серьёзную перестройку архитектуры x86: на подходе новое расширение APX APX может заметно ускорить будущие процессоры Intel и AMDАрхитектура x86 может получить одно из самых заметных обновлений за последние годы. В рамках...

18:17, 19 Фев Припарковался — лишился авто: в Татарстане готовят новые правила эвакуации Корректный и безопасный дорожный порядок в Татарстане может получить новое средство воздействия на нарушителей, которые блокируют улицы и дворы. Тако...

14:17, 06 Май Строительство мегазавода Terafab по производству чипов обойдется SpaceX в 55 миллиардов долларов Но общий объем инвестиций в крупнейшее полупроводниковое производство в мире будет намного большеSpaceX Илона Маска готовится к запуску амбициозного ...

18:17, 23 Июн В России готовят новые ограничения для M2M-SIM-карт, а зарубежные eSIM могут запретить Эти ограничения могут быть включены в новый пакет антифрод-мерВ России обсуждают новые ограничения для M2M SIM-карт и eSIM в рамках очередного пакета...

14:17, 18 Май Деликатесы готовят при вас за копейки: азиатский курорт который утрет нос привычной Турции Дананг открывает прямые рейсы из Владивостока, предлагая российским туристам безвизовый режим на 45 дней. Город сочетает европейскую инфраструктуру с...

17:17, 18 Фев МВД предложило ограничить переводы через NFC и выдачу наличных в магазинах. Что готовят для россиян МВД России выступило с инициативой о введении новых ограничений на финансовые операции. Ведомство предложило установить период охлаждения при снятии ...

04:17, 24 Апр Xiaomi, Vivo, и Honor готовят стандарт работы с памятью для стабильности Android Китайские производители смартфонов, такие как Xiaomi, Vivo, OPPO, Lenovo и Honor, объединившиеся в альянс Gold Standard Alliance, работают над решени...

11:17, 26 Мар Борщевой набор под защитой закона: социальные товары готовят к принудительному удешевлению Инициатива об ограничении торговых наценок на социально значимые товары до 10% — это попытка хирургического вмешательства в живой организм рыночного ...

23:17, 05 Апр Чужой палец на кнопке: американские фонды готовят захват контроля Газпрома Российский газ вернется в европейские конфорки ровно в тот момент, когда американские стервятники от финансов вонзят когти в обломки трубы. Бывший пр...

16:17, 13 Мар Глобальный дефицит чипов памяти продлится как минимум до второй половины 2027 года Согласно отчету аналитической компании Counterpoint Research, глобальный дефицит чипов памяти продлится как минимум до второй половины 2027 года, а в...

00:17, 05 Июн ВЭБ и правительство готовят законопроект об объединённом пенсионном фонде. Контрольный пакет заберёт государство ВЭБ.РФ совместно с правительством разрабатывает законопроект о создании объединённого пенсионного фонда. Контрольный пакет в новой структуре будет пр...

05:17, 09 Июн Google и Nvidia могут привлечь Intel как резервного производителя ИИ-чипов на фоне перегрузки TSMC На фоне дефицита мощностей тайваньской TSMC крупные технологические компании тестируют Intel как альтернативного контрактного производителя для TPU и...

00:17, 25 Мар Российский проект по замене чипов Texas Instruments просрочен на 3,5 года, освоено ли производство — неизвестно Минпромторг оштрафовал Научно-исследовательский институт молекулярной электроники (НИИМЭ) на 52 млн рублей за срыв сроков работ по освоению серийного...

05:17, 26 Мар Цифровой поводок для разума: власти готовят закон, который навсегда изменит работу нейросетей Минцифры выкатило на стол черновик будущего для русского ИТ. Законопроект "Об основах госрегулирования сфер применения технологий искусственного инте...

20:17, 20 Мар Первая партия — бесплатно для ученых России: Бауманка запускает контрактное производство передовых фотонных чипов МГТУ им. Н.Э. Баумана и ФГУП «ВНИИА» объявили о начале приема заявок на первый контрактный запуск производства фотонных интегральных схем (ФИС) в фор...

13:17, 30 Апр Прибыль Samsung от продажи чипов взлетела в 50 раз за квартал. Компания предупредила, что дефицит усугубится в 2027 году Поставки значительно отстают от спроса клиентовSamsung Electronics сообщила о рекордной квартальной прибыли, обусловленной 50-кратным ростом прибыли ...

14:17, 06 Июн Oppo и vivo готовят конкурентов DJI Osmo Pocket. Новые камеры получат сенсор на 200 Мп и флагманскую начинку Похоже, популярность компактных камер DJI Osmo Pocket заставила крупнейших производителей смартфонов обратить внимание на этот сегмент. По данным авт...

15:17, 02 Июн Варить свеклу больше не буду: узнала, как ее готовят шеф-повара в ресторанах - без грязи, запаха и вкус как "из печи" freepik Ресторанные шеф-повара давно отказались от варки свёклы. Вместо этого они запекают её в фольге с маслом, солью, перцем и эстрагоном. При тако...

23:17, 06 Июн Дешевая китайская память DDR5 — это миф. Чипы памяти CXMT стоят на уровне чипов Samsung, SK Hynix и Micron Преимущество CXMT не стоимость, а доступные объемы и отсутствие строгих контрактных ограниченийКитайский производитель памяти ChangXin Memory Technol...

04:17, 13 Май Новый тренд? Складные смартфоны резко меняют дизайн — Vivo, Oppo и HONOR готовят широкие фолды Сразу несколько китайских производителей готовят складные смартфоны с более широкими дисплеями. По данным инсайдеров, над такими устройствами уже раб...

02:17, 12 Мар Международная сеть ILC: инженеры готовят технологии линейного коллайдера для поиска новой физики за пределами Стандартной модели В 2022 году была создана Международная технологическая сеть ILC (ITN), чтобы ускорить инженерные исследования для строительства ILC — линейного ускор...

15:17, 14 Апр Nvidia уже во всю использует ИИ для проектирования чипов. На одном из процессов ИИ делает работу за вечер, хотя раньше команде нужно было 10 месяцев Речь об инструменте Nvidia NB-CellКомпания Nvidia является крайне важной для развития рынка ИИ и неудивительно, что она сама активно использует такие...

02:17, 13 Апр Весь рынок чипов зависит от компании, которая ранее выпускала пищевые приправы. В мире снова формируется дефицит плёнки для ABF-подложек Её выпускает Ajinomoto Fine-TechnoПохоже, рынок снова вернулся к дефициту подложек ABF, который наблюдался пять лет назад. Конкретно сейчас проблема ...

18:17, 07 Апр Рука Илона Маска дотянулась до Intel: Tesla TeraFab — самый большой в мире завод по производству чипов — Tesla создаст вместе с Intel Intel Foundry объявила о присоединении к проекту Tesla TeraFab, который рассматривается как одна из самых амбициозных инициатив в американской полупр...